超晶格结构可以同时提高陶瓷膜的硬度和断裂韧性，对此已进行了广泛的研究。对于立方结构过渡金属氮化物(TMNs)/六方结构AlN系统，由于立方TMN层的“模板效应”，当厚度小于临界共格厚度时，AlN层将保持立方结构，薄膜的硬度值随AlN层厚度增加而增加。来自北京科技大学的研究人员通过基体取向调整了TiN取向，以增加AlN的共格厚度，通过调整薄膜生长方向观察TiN/AlN超晶格多层膜的界面状态及其对超晶格膜力学性能的影响，调控后实现了超晶格薄膜的硬度突破，硬度值高达约38.6GPa。
文献链接： /10.1016/j.scriptamat.2021.113951
原文链接： /i6974267569431659038/